Zuverlässige Partikelzählung zur Überwachung der Reinraumqualität
FPM-Particle prüft dünne Glassubstrate mit hoher Präzision und liefert eine statistische Analyse der Partikelverteilung. Mit hochauflösenden Kameras und spezieller Beleuchtungstechnik erkennt das System Partikel bis in den Mikrometerbereich und klassifiziert sie nach Größe. Damit liefert es zuverlässige Daten zur Überwachung der Reinraumqualität und zur Optimierung des Reinigungsprozesses.
Mit den Erweiterungsprodukten FPM-Inspect, FPM-Edge und FPM-Review können Anwender die Partikelinspektion um eine Oberflächen- und Kanteninspektion sowie ein automatisches Mikroskop zur Untersuchung erkannter Fehler erweitern.
- Komplette Produktpalette für die Oberflächen- und Kanteninspektion, plus Prüfstation
- Einzelne oder mehrere Sensoren für die Inspektion von Bahnen oder kompletten Substraten
- Extrem kurze Inspektionslinie für dünne Glassubstrate
- > 99,9 % Klassifizierung Oberseite/Unterseite
- Partikelzählung im Submikrometerbereich
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