FPM-Particle

Zuverlässige Partikelzählung zur Überwachung der Reinraumqualität

FPM-Particle inspiziert Dünnglassubstrate hochgenau und liefert eine statistische Auswertung über die Partikelverteilung. Mittels hochauflösender Kameras und einer speziellen Beleuchtungstechnik detektiert das System selbst kleinste Partikel bis in den Mikrometerbereich und klassifiziert sie nach ihrer Größe. Auf diese Weise liefert es zuverlässige Daten, um die Reinraumqualität zu überwachen und den Reinigungsvorgang zu optimieren.

Durch die Produkterweiterungen FPM-Inspect, FPM-Edge und FPM-Review kann die Partikelinspektion mit einer Oberflächen- und Kanteninspektion sowie einem automatischen Mikroskop zur Untersuchung bereits detektierter Fehler komplettiert werden.

Produktdetails

  • Einzel- oder Mehrfach-Sensor-Setup zur Inspektion einer Bahn oder eines kompletten Substrats
  • Komplettes Produkt-Portfolio für Oberflächen- und Kanteninspektion sowie Review-Station
  • Kürzeste Inspektions-Linie für Dünnglas-Substrate