FPM-Particle

Prüfung dünner Glassubstrate für eine statistische Analyse der Partikelverteilung

Einzelne oder mehrere Sensoren für die Inspektion von Bahnen oder kompletten Substraten

Komplette Produktpalette für die Oberflächen- und Kanteninspektion, plus Prüfstation

Extrem kurze Inspektionslinie für dünne Glassubstrate

Partikelzählung im Submikrometerbereich

> 99,9 % Klassifizierung Oberseite/Unterseite

Zuverlässige Partikelzählung zur Überwachung der Reinraumqualität

FPM-Particle prüft dünne Glassubstrate mit hoher Präzision und liefert eine statistische Analyse der Partikelverteilung. Mit hochauflösenden Kameras und spezieller Beleuchtungstechnik erkennt das System Partikel bis in den Mikrometerbereich und klassifiziert sie nach Größe. Damit liefert es zuverlässige Daten zur Überwachung der Reinraumqualität und zur Optimierung des Reinigungsprozesses.

Mit den Erweiterungsprodukten FPM-Inspect, FPM-Edge und FPM-Review können Anwender die Partikelinspektion um eine Oberflächen- und Kanteninspektion sowie ein automatisches Mikroskop zur Untersuchung erkannter Fehler erweitern.