FPM-Review

Mikroskopische Fehleranalyse ausgewählter Defekte

Um auch bei grenzlagigen oder sehr kleinen Fehlern eine zuverlässige Qualitätsaussage zu treffen, untersucht FPM-Review die vom FPM-Inspect bereits detektierten Fehler mittels automatischem Mikroskop genauer. Auf Basis der hochauflösenden Mikroskopbilder überprüft es die Klassifikation der Fehler, vermisst die Größe genau und bestimmt die Position innerhalb des Glases. Auf dieser Basis kann eine endgültige Entscheidung über die Weiterverarbeitung des Materials getroffen werden.

FPM-Review stellt mit seinem großen Messfeld (FoV) sicher, dass auch nach dem Transport über mehrere Stationen alle Defekte sicher wiedergefunden werden und innerhalb des Messfeldes liegen – ohne Einfluss auf die hohe Auflösung.

Die genaue Tiefe der untersuchten Fehler misst das ISRA-System über einen Abstandssensor unabhängig vom Glas-Warp.

Mit der optionalen Dual-Head-Konfiguration kann es zudem mehr Fehler innerhalber kurzer Taktzeiten inspizieren.

Durch die Produkterweiterungen FPM-Inspect und FPM-Edge kann die mikroskopische Fehleranalyse mit einer Oberflächen- und Kanteninspektion komplettiert werden.

Produktdetails

  • Multi-funktionaler Sensor für Oberflächen- und Glas-Defekte sowie Kratzer
  • Einzigartiger Abstandssensor liefert stets genaue Messergebnisse, unabhängig von Glas-Warp oder Neigung
  • Komplettes Produkt-Portfolio für Oberflächen- und Kanteninspektion sowie Review-Station
  • Kürzeste Inspektions-Linie für Dünnglas-Substrate