Waferproduktion
Optimieren Sie Ihre Ausbeute bei gleichzeitig maximaler Qualitäts- und Prozesssicherung und das bereits in der laufenden Waferproduktion.
Durch den Einsatz unserer optischen Inline-Inspektionssysteme zur hochpräzisen Detektion von Mikrorissen erhöhen Sie die Fertigungskapazität Ihrer Produktion maßgeblich. Die frühzeitige Erkennung von Defekten wie Ätzrückständen auf der Vorder- und Rückseite sowie an der Waferkante ermöglicht Ihnen ein kostensparendes Ausschleusen des fehlerbehafteten Materials vor dem nächsten Produktionsschritt.