Oberflächendefekte

Nachhaltige Optimierung der Produktionsausbeute durch 100 % Inline-Kontrolle selbst bei höchsten Inspektionsgeschwindigkeiten. Makroskopische Defekte auf der Waferoberfläche, wie etwa Makrofehler und Handlingskratzer oder Ätzrückstände, identifizieren und klassifizieren unsere Systeme mit der patentierten MultiView-Technologie lückenlos. So können schadhafte Wafer bereits zu einem frühen Zeitpunkt aussortiert werden.


Inline-Oberflächeninspektion von Wafern

Die optische Inline-Oberflächeninspektion ermittelt, ob Wafer qualitativ einwandfrei sind und an den Kunden ausgeliefert werden können.


Inline-Oberflächeninspektion von Waferkanten

Während der Rotationsbewegung scannt der Sensor die Waferkante aus drei Blickrichtungen. Dadurch wird der Wafer bis zum äußersten Rand nach Defekten untersucht.