Inline Dünnschicht-Inspektion

Kosteneffizient produzieren dank einer durchgehenden Prozessüberwachung: ISRA bietet das gesamte Portfolio für eine zuverlässige Überwachung aller relevanten Dünnschichtprozesse sowie zur frühzeitigen Identifikation von Fehlern – von der Glaseingangskontrolle bis hin zur EL-Kontrolle des fertigen Moduls. Der Fokus liegt dabei, je nach Anwendung, auf

  • der Detektion von Fehlern, die zu Bruch und Linienstillstand führen oder
  • auf der Qualitätskontrolle einzelner Prozessschritte, um die Effizienz und Ausbeute zu erhöhen.

Glaseingangskontrolle

Kontrolle der Glassubstrate zur Erhöhung der Produktivitätssteigerung.


Verbiegungsvermessung

Bestimmung der Substratverbiegung und anderer 3D-Defekte bspw. nach Absorberabscheidung.


Prüfung der Absorberbeschichtung

Detektion von Oberflächendefekten und Homogenität der Abscheidung.


Kontrolle des Scribing-Prozesses

Überprüfung der Lage und Qualität der Strukturierungslinien zur monolithischen Verschaltung.


Detaillierte Analyse der CIGS Absorberschicht

Bestimmung der stöchiometrischen Zusammensetzung der Absorberschicht.


Elektrolumineszenz-Prüfung von Dünnschicht-Solarmodulen

Prüfung der Verschaltungsqualität und Detektion von Kurzschlüssen.