Wafer

Optimieren Sie Ihre Produktionsqualität bei gleichzeitiger Erhöhung Ihrer Produktionsausbeute: Optische Inline-Inspektionssysteme von ISRA gewährleisten eine optimale Qualitätsbewertung.

Im Wafering erkennen und klassifizieren unsere Technologien kleinste Fehler mit höchster Präzision.

Bei Einsatz in der Endkontrolle der Waferfertigung ermöglichen unsere Inspektionssysteme die Sortierung in verschiedene Qualitätsklassen und Rückschlüsse auf Optimierungspotenzial in den vorhergehenden Prozessen. Bei Verwendung als Eingangskontrolle in der Zellfertigung dagegen können Off-Spec-Wafer noch vor dem ersten Prozessschritt aussortiert werden.

ISRA-Systeme gewährleisten damit einerseits die Überwachung und Optimierung der Produktionsqualität im Wafering. Andererseits kann durch das frühzeitige Aussortieren ungeeigneten Ausgangsmaterials die Produktionsausbeute in der Zellfertigung gesteigert werden.


Inline Wafer-Inspektion

Alle visuellen Oberflächendefekte auf as-cut Wafern zuverlässig identifizieren und klassifizieren


Inline Wafer-Inspektion für Wafertester

Mikrorisse und Sägeriefen präzise detektieren 


Labormesssysteme

Berührungslose Inlinekontrolle und kontaktierende Labormesssysteme - optimale Prozess- und Qualitätsüberwachung sicherstellen