Inline Wafer-Inspektion für Wafertester

Sparen Sie Platz und Kosten beim Bau kompletter Messsysteme: Unsere Inspektionslösungen zur Qualitäts- und Prozesskontrolle im Wafering sind optimal für den Einbau in hochintegrierte Wafertester. Sie bestechen durch ein kleines Gehäuse mit geringem Footprint und ermöglichen selbst bei höchsten Durchsätzen optimale Inspektionsergebnisse.

Die optischen Inspektionssysteme für as-cut Wafer finden zuverlässig alle visuellen Oberflächendefekte. Zudem ermöglichen spezielle Messaufbauten die Detektion von Mikrorissen und Sägeriefen mit höchster Präzision.


Inline Oberflächeninspektion optimiert für Wafertester

Das Messsystem wurde speziell für Wafertester mit kontinuierlichem Wafertransport und kleinem Footprint entwickelt. Die Oberfläche des Wafers wird on-the-fly, d.h. bei bewegter Probe, inspiziert. Verunreinigungen werden zuverlässig detektiert, und Wafer entsprechend ihrer Qualität klassiert.


Für Wafertester optimierte Inline Kontrolle der Wafergeometrie

Optisches Inspektionssystem zur on-the-fly Geometrievermessung von Wafern.


Inline Oberflächeninspektion zur Identifikation offener und geschlossener Rissbildungen

Für den Einsatz in integrierten Wafertestern optimiertes Inspektionssystem zur Identifikation von Mikrorissen.


Inline Lumineszenzinspektion zur Bestimmung des Effizienzpotentials

Kontaktfreie Inspektion zur Identifikation von Materialfehler bei gleichzeitiger Bestimmung des Effizienzpotentials.


Inline Inspektion zur vollflächigen Topographiemessung

Inspektionssystem zur mikrometergenauen Höhenvermessung der Oberfläche – optimiert für hochintegrierte Wafertester.