Labormesssysteme

Prozesskontrolle durch kontaktierende Messsysteme für spezielle Fragestellungen: Neben der berührungslosen Inline-Qualitätskontrolle bieten wir Labormesssysteme zur Detailuntersuchung an. Diese kommen überall dort zum Einsatz, wo eine Inline-Kontrolle nicht möglich oder eine detaillierte Untersuchung der Proben mittels kontaktierender Methoden gewünscht wird.


Überwachung des spezifischen Widerstandes

Die Laborsysteme ermöglichen die Stichprobenkontrolle als Eingangsprüfung in der Solarzellenfertigung und prüfen den spezifischen Widerstand der Wafer.


Messung der mechanischen Waferstabilität

Das System ermöglicht die Prüfung der Stabilität durch mechanische Belastung.