MICRO-D

Berührungslose Inline-Inspektion zur Erkennung von Mikrorissen

Das optische Inspektionssystem MICRO-D findet zuverlässig Mikrorisse in Solarzellen, egal an welcher Stelle und ohne das Material mechanisch zu belasten.
 
Im Gegensatz zum kontaktierenden Elektrolumineszenz-Verfahren, welches durch eine Vielzahl von Materialdefekten beeinflusst wird, reagiert ISRAs patentierte berührungslose Imaging-Technologie nur auf Mikrorisse. Mit geringstem Overkill werden auch schmalste Risse, sogenannte "geschlossene Risse", zuverlässig abgebildet und automatisch detektiert.

Das System kann problemlos in jedes Wafer-Handling-System integriert werden. Geschädigte Zellen können noch vor der Weiterverarbeitung oder dem Transport verlässlich identifiziert und aussortiert werden.

Produktdetails

  • Unterstützt „Copy-Exact“ von Rezepten
  • Das einzige kontaktlose, nicht-lumineszente System zur Erkennung von Mikrorissen in Solarzellen
  • Keine Empfindlichkeit gegenüber Serienwiderstand; Verfärbungen und andere Materialfehler sind über die Photolumineszenz-Prüfung erkennbar
  • Kumulative Overlay-Aufnahmen von Defekten zur Erkennung systematischer Fehler (Bearbeitung/Verarbeitung)
  • Bildanalyse zu kumulativen Overlay-Aufnahmen von Defekten
  • MES-Schnittstelle
  • Anbindung an die zentrale Rezeptverwaltung
  • Anbindung an das zentrale Yield Management
  • Anbindung an die zentrale Systemübersicht und -Analyse