Fabricación de obleas

Potencie su rendimiento productivo a la vez que garantiza la máxima calidad y la fiabilidad del proceso incluso durante la propia fabricación de obleas.

Nuestros sistemas de inspección óptica en línea detectan microgrietas con fiabilidad y aumentan considerablemente su capacidad productiva. La detección temprana de defectos tales como residuos de grabado en las caras delantera y trasera o en los bordes de las obleas le permitirán ahorrar costes eliminando el material defectuoso antes de que alcance la siguiente etapa del proceso de producción.


Defectos de superficie

Inspección en línea al 100% incluso a altas velocidades: detecte y clasifique defectos macroscópicos de manera precisa y fiable


Grietas internas

Inspección de defectos y microgrietas en el material de oblea bruto: solo obleas en perfecto estado son transportadas


Defectos de bordes

Detecte los defectos de bordes con la máxima precisión y reduzca considerablemente la inactividad de las máquinas procesadoras


Topología de superficies

Detecte y registre las desviaciones de altura máxima y la curvatura superficial de las obleas utilizando inspección 3D deflectométrica