Defectos de bordes

Garantía de calidad excelente en la fabricación de obleas: nuestro sensor de bordes detecta daños en el borde de la oblea en el extremo final de la línea. Esto permite realizar una identificación precisa de defectos tales como residuos de grabado y defectos mecánicos como grietas o mellas. Como resultado, las obleas defectuosas pueden retirarse tempranamente de la línea de producción, lo que evita paradas innecesarias de las máquinas y garantiza que los clientes obtengan obleas en perfecto estado. Además, la clasificación de defectos integrada y automatizada favorece a los procedimientos de resolución de fallos.


Inspección superficial en línea de bordes de oblea

Durante el giro, el sensor escanea el borde de las obleas desde tres perspectivas, garantizando así la detección de defectos hasta en el borde más externo de la oblea.