Defectos de superficie

Aumento sostenido del rendimiento productivo mediante una inspección en línea al 100% incluso a velocidades elevadas. Utilizando la tecnología MultiView patentada, nuestros sistemas identifican y clasifican con fiabilidad macrodefectos, arañazos de manipulación o residuos de grabado. Esto permite eliminar del proceso las obleas defectuosas en una etapa temprana.


Inspección de superficies de obleas en línea

Las inspección de superficies de obleas en línea determina si la calidad de las obleas es suficiente para la entrega a los clientes. Como característica opcional, el recubrimiento de la cara trasera puede ser inspeccionado para comprobar su uniformidad.


Inspección superficial en línea de bordes de oblea

El sensor giratorio escanea el borde de las obleas desde tres perspectivas, garantizando así la detección de defectos hasta en el borde más externo de la oblea.