Grietas internas

Prevención de paradas innecesarias y procesos laboriosos de limpieza de máquinas: los sistemas de inspección óptica de ISRA detectan con precisión defectos tales como microgrietas en el material de oblea bruto. Esto garantiza que solo las obleas en perfecto estado alcancen las siguientes etapas de la producción. La clasificación de defectos integrada y automatizada también contribuye a su resolución. 


Inspección superficial en línea para la detección de grietas internas

Nuestros métodos de detección patentados revelan defectos en el interior de la oblea que no pueden ser detectados microscópicamente. 


Inspección superficial en línea de bordes de oblea

Durante el giro, el sensor escanea el borde de las obleas desde tres perspectivas, garantizando así la detección de defectos hasta en el borde más externo de la oblea.