Topología de superficies
Mejora del rendimiento y garantía de calidad sostenidas con inspección 3D deflectométrica: los sistemas de inspección de ISRA garantizan una detección y un registro fiables de la curvatura y la desviación de altura máximas de la superficie de las obleas en las caras delantera y trasera. Las obleas que no satisfagan los criterios de calidad requeridos pueden ser retiradas de la producción en una etapa temprana.