Topología de superficies

Mejora del rendimiento y garantía de calidad sostenidas con inspección 3D deflectométrica: los sistemas de inspección de ISRA garantizan una detección y un registro fiables de la curvatura y la desviación de altura máximas de la superficie de las obleas en las caras delantera y trasera. Las obleas que no satisfagan los criterios de calidad requeridos pueden ser retiradas de la producción en una etapa temprana. 


Inspección 3D de la topología de la oblea

Inspección 3D para la monitorización de la planicidad de oblea requerida.