Inspection en ligne de plaquettes

Optimisation permanente de la cadence de production grâce à l'inspection en ligne complète, même à des vitesses d'inspection élevées : Des options spéciales permettent une détection précise des défauts de surface visuels, tels que les micro-fissures et les marques de scie. Afin d'assurer un niveau de qualité minimum, par exemple à l'entrée des plaquettes, nous proposons des systèmes pour les applications individuelles telles que les contrôles de géométrie ou la détection des fissures.


Inspection en ligne de la surface des plaquettes

Identification fiable des défauts de surface visuels et des irrégularités dans la géométrie des plaquettes découpées.


Mesure 3D en ligne de la surface des plaquettes

Inspection optique en ligne pour la mesure complète de la hauteur de la surface de la plaquette avec une précision au micromètre près.


Inspection en ligne de la luminescence pour déterminer le potentiel d'efficacité

Inspection sans contact pour identifier les défauts de matériaux tout en déterminant le potentiel d'efficacité.


Système d’inspection optique pour l’identification des micro-fissures

Surveillance en ligne complète des micro-fissures.