ウエハー

製品の品質を改善しつつ歩留まりを向上します。ISRAの光学式インライン検査システムは、卓越した品質評価を保証します。

ウエハーリング工程時、弊社の技術は最小限の欠陥を最高の精度で検出し、分類します。

ウエハー生産の最終検査時に使用した場合、弊社システムにより、ユーザーはウェーハを様々な品質等級に分類することが可能となり、また上流工程の最適化方法に関する見識が提供されます。これに対し、セル生産のインプットの監視に使用された場合、本システムにより、ユーザーは仕様不適合ウエハーを最初の工程段階前に除去することが可能となります。


インラインウエハー検査

高速製造でも完全なインライン監視As-Cutウエハー表面の可視欠陥を全て確実に確認・分類


ウエハープローバー用インライン検査

高度集積ウエハープローバー取付用測定システム。完璧な品質・工程監視システムを構築


研究室用測定システム

非接触インライン監視と接触式ラボ測定システムにより、工程と品質の優れた管理を確実化