インラインウエハー検査

完全インライン検査により、高速検査時でも生産量を永続的に最適化: 特殊アドオンにより、マイクロクラックやソーマーク等の可視欠陥の高精度検出が可能になります。最低水準の品質を確保するため、水中インプットなど、弊社は形状確認やクラック検出等の個別アプリケーション用システムを提供します。


ウエハー表面のインライン検査

As-Cutウエハーの形状における表面の可視欠陥および異常を確実に確認します。


ウエハーの3D表面測定

ウエハー表面のマイクロメートル精度による高さ測定の完全な光学式インライン検査。


効率ポテンシャル測定インラインルミネセンス検査

材料の欠陥を検知しつつ、効率ポテンシャルを測定する非接触検査です。


マイクロクラック確認用光学式検査システム

マイクロクラック用完全インラインウェーハ監視。