セル

製造コストを永続的に削減しつつ、卓越した最終品質を確保します。

弊社の光学式検査システムは、各工程段階後に工程と材料の品質を自動検査します。本システムは、セル製造中も表面の欠陥を最高精度で検出します。必要な品質基準に適合しないセルは、早期に除去可能なため、完全なプロセスモニタリングが可能です。

ISRAのウエハーシステム、セルシステム、モジュールシステムにより、マシン間のレシピ転送が容易になります。このマルチライン管理により、特に集中レシピ管理と組み合わせた場合に、設定作業量が削減され、調整試験とレシピ調整が大幅に促進されます。集中データ評価も可能です。