モジュール

製造コストを削減し、生産するモジュールの卓越した品質を確実化します。

弊社の包括的なモジュール生産関連製品ラインナップは、ストリンガーから納品前の最終管理まで多岐にわたります。本システムは、周期がモジュールあたり30秒以下の完全自動欠陥検出に基づく信頼性の高い判断を確実化します。

ISRAのウェーハシステム、セルシステム、モジュールシステムにより、マシン間のレシピ転送が容易になります。このマルチライン管理により、特に集中レシピ管理と組み合わせた場合に、設定作業量が削減され、調整試験とレシピ調整が大幅に促進されます。またこの管理により集中データ評価が実現されます。


モジュール検査

生産プロセスの各段階において、マシンの周期が極めて短い加工ラインであっても、廃棄の原因を確実に特定


研究室用測定システム

特定の問題用接触式ラボ測定システム