インライン薄膜検査

工程の完全監視によるコスト効率の高い生産ISRAは、納入ガラス管理からモジュール完成品のEL管理まで、全ての薄膜関連工程の信頼性の高い監視と早期欠陥確認のためのソリューションの完全ラインナップを提供しています。用途により、検査の重点は:

  • 破損と生産ダウンタイムの原因となる欠陥検出
  • 各工程段階の品質管理による効率と歩留まり向上。

ガラス納入管理

生産性を向上させるガラス基材検査です。


反り計測

反りや、アブゾーバー後の堆積などの3D欠陥の判断。


アブゾーバーコーティング検査

表面の欠陥と、堆積の均一性の検出


スクライビング工程監視

スクライビングライナーの位置と品質の監視により、完全な相互連結を実現。


CIGS アブゾーバー層の詳細解析

アブゾーバー層の化学量論的組成の判断。


薄膜ソーラーモジュールのエレクトロルミネッセンス検査

相互連結性の品質検査と短絡の検出。