ウェーハ生産

実施中のウェーハ生産時であっても、最大限の品質と工程の信頼性を確保しつつ、歩留まりを向上します。

弊社の光学式インライン検査システムは、マイクロクラックを確実に検知し、生産可能量を大幅に増加させます。ウェーハの表面・裏面・エッジのエッチング残留物等の欠陥の早期検出により、欠陥材料を生産の次工程に進む前に除去することで、コストを削減可能です。