内部亀裂

不必要なダウンタイムと複雑なマシンのクリーニングプロセスを防止: ISRA の光学式検査システムは、バルクウェーハ材料上の微小亀裂などの欠陥を、正確に検出します。これにより、完全なウェーハのみが次工程段階へと進むことが確実化されます。また、統合された欠陥自動分類によりトラブルシューティングが支援されます。 


内部クラック検出のためのインライン表面検査

弊社の検出法 (特許) は、顕微鏡で検出不可能なウェーハ内部の欠陥を解明します。 


ウェーハエッジのインライン表面検査

センサーは回転中にウェーハのエッジを3方向からスキャンし、それによってウェーハの最も外側のエッジまで欠陥の検出が確実化されます。