表面トポロジー

デフレクトメトリ 3D検査による持続可能な歩留まり改善と品質保証: ISRAの検査システムにより、ウェーハの表面と裏面の高さの最大逸脱、面の湾曲の信頼性の高い検出と詳細な記録が確実化されます。必要とされる品質の条件に適合しないウェーハは、早期に生産から除去可能です。 


ウェーハのトポロジーの 3D検査

必要とされるウェーハ平坦度の3D検査