FPM-Inspect

信頼できる品質分類のための正確な欠陥検出

表面検査システム FPM Inspectは、各種の照明チャンネルと高解像度カメラを利用して、薄ガラス基層をチェックします。信頼性の高い品質分類を保証し、顧客が完璧な素材のみを受け取るようにします。

システムは、最大3つの検査タスクを組み合わせることができます。 

  • 典型的なガラスおよび表面欠陥の高解像度検出:FPM Inspectは、カレット、へこみ、PT針、介在物、気泡などのごく小さな欠陥でも確実に検出して分類します。
  • 最も小さな傷でも検出;照明システムは、向きに依存しないスクラッチの検出用に特別に設計されています。
  • 粒子カウント:統合された粒子照明システムにより、FPM Inspectはすべてのサブµm粒子を検出できます。

この3-in-1ソリューションは、追加の検査システムの必要性を排除することにより、スペースと運用コストを節約します。追加製品 FPM-Edge および FPM-Review は、欠陥検査用のエッジ検査と自動顕微鏡を備えた検査ラインを完成させます。

製品詳細情報

  • 表面およびエッジ検査用の完全な製品範囲、およびレビューステーション
  • 薄いガラス基板の非常に短い検査ライン
  • 複数の光チャネルからの欠陥情報による分類の改善