웨이퍼 생산

웨이퍼 생산 중에도 수율 향상과 품질 극대화. 공정 신뢰성 보장.

당사의 광학 인라인 검사 시스템으로 마이크로 크랙을 신뢰성 있게 검출하여 생산성이 향상됩니다. 웨이퍼 전면과 후면, 에지에 있는 에칭 잔류물과 같은 결함을 조기에 감지하기 때문에, 다음 생산공정 단계에 도달하기 전 결함 있는 재료를 제거하여 비용을 절약할 수 있습니다.


표면 결함

높은 속도의 검사 라인에서도 100% 인라인 검사 가능 - 마이크로 단위 결함의 검출 및 분류를 신뢰성 있게 진행


내부 크랙

웨이퍼의 결함과 마이크로 크랙을 검사합니다 - 무결점 웨이퍼만을 구분


엣지(Edge) 결함

최고의 정밀도로 엣지 결함을 검출하고, 공정 프로세스의 중단 가능성을 최소화합니다.


표면 토폴로지

Deflectometric 3D 검사 기술을 이용하여 웨이퍼의 표면 평탄도와 표면 곡률을 검사합니다