웨이퍼 생산을 위한 우수한 품질 보증: 당사의 엣지 센서는 라인 뒷부분의 웨이퍼 엣지 손상을 감지합니다. 균열 또는 치핑(chipping)과 같은 기계적 결함과 에칭 잔류물등의 결함을 정밀하게 식별할 수 있습니다. 그 결과, 결함 있는 웨이퍼를 조기에 생산라인에서 제거하고, 불필요한 프로세스 중단시간을 방지합니다. 고객이 결함 없는 웨이퍼를 받을 수 있도록 보장합니다. 또한, 통합 및 자동화된 결함 검출은 문제 해결 절차를 지원합니다.
웨이퍼 엣지 인라인 표면 검사
회전하면서, 세 방향의 각도에서 웨이퍼 엣지를 스캔합니다. 웨이퍼의 가장 바깥 쪽에 있는 엣지의 결함까지 검출할 수 있습니다.
