표면 지형

Deflectometric 3D 검사를 통한 지속 가능한 수율 개선 및 품질 보증 : ISRA의 검사 시스템은 전면과 후면에 대한 신뢰성이 있는 웨이퍼 표면 평탄도와 곡률 검사를 수행 합니다. 품질 기준을 만족하지 못하는 웨이퍼는 초기 단계에서 생산 공정에서 제거할 수 있습니다. 


Wafer Topology 3D 검사

웨이퍼 평탄도 모니터링을 위한 3D 검사