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통합 회로 패키징을 위한 고정밀 3D 표면 계측은 편평도와 거칠기, 평탄도, 웨이퍼의 스텝 높이, 개별 칩을 나노미터 범위까지 측정합니다.
편향 측정법 3D 센서는 반사 표면의 평면도를 나노미터 수준까지 검사하는 역할을 합니다 – 빠르고, 정밀하며, 저비용 방식으로.
> SpecGAGE3D-planar
표면 측정용 3D 센서 (고정밀, 백색광간섭계). 텔레센트릭 옵틱스와 나노미터 해상도, 높은 작업 거리, Z 축의 넓은 조정 범위로 당사의 센서는 특히 편평도 및 스텝 높이, 유사성 광학 측정에 잘 맞습니다.
> NetGAGE3D-plus