웨이퍼

제품품질 개선 및 생산 수율 향상. ISRA의 광학 인라인 검사 시스템은 뛰어난 품질평가를 보장합니다.

웨이퍼링 공정 중에, 당사의 기술은 최고의 정밀도로 매우 작은 결함도 감지하고 분류합니다.

웨이퍼 생산의 최종 검사에 사용할 경우, 당사의 검사 시스템으로 다양한 품질 클래스 별 웨이퍼를 분류할 수 있으며 업스트림 공정을 최적화하는 방법에 대한 통찰력을 얻을 수 있습니다. 셀 제조에서 입력 모니터링에 사용할 경우, 당사의 시스템으로 첫 번째 공정 단계에 도달하기 전, 품질 규격의 미달하는 웨이퍼를 제거할 수 있습니다.


인라인 웨이퍼 검사

심지어 높은 생산속도에서도 완전한 인라인 모니터링. As-Cut 웨이퍼에서 모든 표면 결함을 신뢰할 수 있게 감지 및 분류


웨이퍼 프로버 인라인 검사

고도로 통합된 웨이퍼 프로버에서의 설치 가능한 측정 시스템. 완벽한 품질 및 공정 모니터링 시스템


연구용 측정 시스템

비접촉 인라인 모니터링과 접촉 기반 연구용 측정 시스템으로 우수한 공정과 품질 관리를 보장합니다