FPM-Review

선택된 결함의 현미경 분석

심지어 가장 작은 결함으로도 신뢰성 있는 품질 등급을 보장하기 위해, FPM-Review는 자동 현미경을 사용하여 더 상세하게 FPM-Inspect가 탐지한 결함에 대한 분석합니다. 고해상도 현미경 이미지를 기반으로 결함 분류를 다시 확인하고 결함의 크기를 정확하게 측정하고 유리 내 위치를 결정합니다. 수집된 정밀한 정보로 추가 가공이나 출고 사양을 충족하는 시트에 대한 등급을 안정적으로 정할 수 있습니다. 

FPM-Review 는 최대 이미지 해상도의 넓은 시야로 여러 스테이션을 통해 전송 한 후에도 모든 결함을 안정적으로 찾아 이미지화합니다.

시스템은 유리 내 결함의 정확한 깊이를 유리 기울기 또는 뒤틀림의 영향을 받지 않는 특별히 설계된 거리 센서로 측정해 냅니다. 선택사양인 듀얼 헤드 구성으로, 시스템은 짧은 사이클 시간 내 더 많은 결함을 검토할 수 있습니다.

추가 제품인 FPM-InspectFPM-Review는 표면 검사와 엣지 검사 시스템으로 모든 검사 라인을 완성합니다.

제품 세부사항

  • 표면과 에지 검사를 위한 완전한 제품의 범위와 리뷰 스테이션
  • 얇은 유리기판을 위한 매우 짧은 검사 라인
  • 표면 및 유리 결함은 물론 스크래치 감지를 위한 다기능 센서
  • 고유한 거리 센서 설계 : 유리 왜곡 또는 기울기에 민감하지 않음