Produção de wafers

Aumente o seu rendimento, garantindo a máxima qualidade e confiabilidade dos processos, mesmo durante a produção de wafers.

Os nossos sistemas de inspeção óptica in-line detectam de forma confiável microfissuras e aumentam significativamente a sua capacidade de produção. Graças à detecção precoce de defeitos, como resíduos de decapagem na frente, atrás e nas bordas dos wafers, você pode economizar custos ao remover o material defeituoso antes de ele chegar à etapa seguinte do processo de produção.


Defeitos na superfície

Inspeção in-line total, mesmo a altas velocidades – detecte e classifique defeitos macroscópicos com precisão e confiabilidade


Fissuras internas

Inspeção da matéria-prima do wafer para ver se há defeitos e microfissuras – apenas wafers perfeitos são transportados


Defeitos nas bordas

Detecte defeitos nas bordas com a máxima precisão e reduza consideravelmente o tempo de inatividade das máquinas de processamento


Topologia da superfície

Inspecione e documente desvios em relação à altura máxima e a curvatura da superfície do wafer, utilizando a inspeção 3D deflectométrica