内部隐裂检测

避免不必要的停机和复杂的机器清洗流程:ISRA的光学检测系统可精确地检测出大块晶圆材料上的微裂纹等缺陷。这样可确保只有无缺陷的晶圆才可进入下一个生产工序。此外,集成的自动缺陷分类也可进行故障排除。 


用于检测内部裂纹的在线表面检测

我们已获专利的检测方法可找到显微镜无法检测到的晶圆内部缺陷。 


硅片边缘的在线表面检测

扫描过程中,通过旋转,传感器可从三个角度扫描晶圆边缘,从而确保缺陷检测涵盖硅片的最外缘。