表面缺陷

即使在高速检测条件下,100%在线检测也有助于长期提高产量。我们的系统采用已获专利的MultiView技术,能够可靠地识别微裂纹、装卸划痕或蚀刻残留,并对其进行分类。这样便可在生产的初期剔除有缺陷的晶圆。


晶圆的在线表面检测

光学在线表面检测可确定晶圆质量是否能够交付给客户。作为可选功能,可以检查背面镀膜的均匀度。


晶圆边缘的在线表面检测

旋转传感器可从三个角度扫描晶圆边缘,从而确保缺陷检测涵盖硅片的最外缘。