硅片

在提高产量的同时,提高良率。ISRA的光学在线检测系统可保证出色的质量评估。

在硅片加工过程中,我们的技术能够以最高精度检测并分类甚至最细微的缺陷。

当用于硅片生产的最终检测过程时,我们的检测系统使用户能够根据不同质量等级分类硅片,并提供关于如何优化上游工艺的见解。相比之下,当用于电池制造的进料监控过程时,系统使用户能够在进行第一个工艺步骤前剔除不合规格的硅片。


在线硅片检测

即使在较高生产速度下,也能够完成在线监控。可靠地识别和分类原始硅片的所有可见表面缺陷


硅片检测机的在线硅片检测

安装在高度集成的硅片检测机中的测量系统。创造完美的质量和工艺监控系统


实验室测量系统

非接触式在线监控和接触式实验室测量系统可确保出色的工艺和质量控制