在线硅片检测

即使在高速检测条件下,全面在线检测也有助于永久优化产量。特殊附加功能能够对可见表面缺陷(如微裂纹和锯痕)进行精确检测。为了确保达到最低的质量水平,如在硅片的投入阶段,我们提供单个应用系统,如几何检查或裂纹检测。


硅片表面的在线检测

可靠识别原始硅片的可见表面缺陷和几何外形不规则问题。


硅片的在线3D表面测量

使用微米精度对硅片表面进行完整高度测量的光学在线检测。


用于确定效率潜能的在线发光检测

非接触式检测在确定效率潜能的同时,也可识别材料缺陷。


用于识别微裂纹的光学检测系统

对微裂纹进行全面的在线硅片监控。