硅片检测器的在线硅片检测

在构建完整的测量系统时,节约成本和空间。我们在硅片加工过程中的质量和工艺监控检测解决方案非常适合安装在高度集成的硅片测试设备中。它们拥有紧凑的外壳,且占地面积小,即使在高吞吐率下,也能提供出色的检测结果。

原始硅片的光学检测系统能够可靠地检测所有可见表面缺陷。此外,特殊测量附加功能可以对微裂纹和锯痕进行高精度检测。


经优化可用于硅片检测器的在线表面检测

该测量系统专为硅片测试设备研发,具有连续硅片传输功能,且占地面积小。对硅片表面进行实时检测,例如,移动中的样本。能够可靠地检测到任何污物,并且可以根据其质量对硅片进行分类。


经优化可用于硅片检测器的硅片几何形状在线监控

光学检测系统可实时进行硅片几何测量。


用于识别开放和闭合裂纹的在线表面检测

用于识别微裂纹的检测系统已经过优化,可在集成硅片检测器中使用。


用于确定效率潜能的在线发光检测

非接触式检测在确定效率潜能的同时,也可识别材料缺陷。


用于完整3D表面测量的在线检测 

用于3D表面测量的微米精度检测系统已经过优化,可用于高度集成硅片检测器。