CrackScan
Optisches Inspektionssystem identifiziert und lokalisiert kleinste Risse im Wafer-Material
EdgeScan
100 % Waferkanteninspektion und zuverlässige Fehlererkennung
SpecGAGE3D
Automatische Oberflächeninspektion von hochreflektierenden Objekten
WafQScan
Zuverlässige Erkennung von Defekten, wie Verunreinigungen oder Mikrokratzern
CrackScan
Optisches Inspektionssystem identifiziert und lokalisiert kleinste Risse im Wafer-Material
DicingScan
100%-Kontrolle von Dicing-Straßen in der Halbleiterfertigung
EdgeScan
100 % Waferkanteninspektion und zuverlässige Fehlererkennung