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CrackScan
光学检测系统识别并定位大块晶圆材料内部的最小裂纹
EdgeScan
100%晶圆边缘检测和可靠的缺陷检测
SpecGAGE3D
高反射物体的自动表面检测
WafQScan
可靠检测缺陷,如污染或微划痕
DicingScan
半导体制造中切割道的100%检查