반도체 솔루션 살펴보기
CrackScan
광학 검사 시스템이 벌크의 웨이퍼 재료 내부의 미세 크랙을 식별하고 위치를 파악
EdgeScan
100% 웨이퍼 엣지 검사 및 신뢰할 수 있는 결함 감지
SpecGAGE3D
반사율이 높은 물체의 자동 표면 검사
WafQScan
오염이나 미세 스크래치와 같은 결함의 안정적인 감지
광학 검사 시스템이 벌크 웨이퍼 재료 내부의 미세한 균열을 식별하고 위치를 파악
DicingScan
반도체 제조 공정의 다이싱 스트리트 100% 검사